Chemshunalumina gofretini abrazivlash plitasi/aylanuvchi stol yuqori tozaligi 99,7-99,9% alyuminiy oksididan tayyorlangan. Yuqori tozaligi alyuminiy keramikasi plastinalarni abrazivlash uchun ajoyib qattiqlik va a'lo darajadagi aşınmaya bardoshlilik xususiyatiga ega va uzoq vaqt davomida yaxshi sirt shaklini saqlab turadi. U PIBM tomonidan shakllantirilgan. U mislsiz termal va o'lchovli barqarorligi hamda qattiq mikrochipli ishlov berish uskunalari muhitlariga chidamliligi tufayli yarimo'tkazgichlar sanoatining a'zosi hisoblanadi.
Kimyoviy-mexanik tekislash (KMR), shuningdek, Kimyoviy-mexanik abrazivlash deb ham ataladi, bu yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarish jarayonidagi texnologiya. U qayta ishlash jarayonida kremniy plitalari yoki boshqa substrat materiallarini tekislash uchun kimyoviy korroziya va mexanik kuchlardan foydalanadi.
CMP uskunalari asosan ikki qismga bo'linadi: abraziv qism va tozalash qismi. Abraziv qism 4 qismdan iborat, ya'ni 3 ta abraziv aylanuvchi stol va plastinka yuklash va tushirish moduli. Tozalash qismi plastinkani tozalash va quritish uchun mas'ul bo'lib, plastinkaning "quritish va quritish" ga erishish uchun javobgardir. Butun abraziv uskunada alumina keramikasi muhim rol o'ynaydi.
Alumina keramikasi odatda yuqori tozalik, yuqori kimyoviy chidamlilik va sirt shakli va pürüzlülüğünü yaxshi nazorat qilishni talab qiladigan gofret abraziv disklarini tayyorlash uchun ishlatiladi.
Chemshun 99.7% Al2O3 keramik silliqlash diski ilg'or keramik materiallardan tayyorlangan bo'lib, u turli xil materiallarni, ayniqsa, gofret, keramika va shisha kabi mo'rt materiallarni maydalash uchun mos keladi. Bizning keramik silliqlash diskimiz turli silliqlash va abrazivlash modellariga muvofiq turli o'lchamlarda tayyorlanishi mumkin.
Nashr vaqti: 2025-yil 30-may