Yarimo'tkazgichlar sanoatining jadal rivojlanishi bilan sanoat miqyosi tez sur'atlar bilan o'sib bordi va yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uskunalari aniqlik va murakkablikka aylanishda davom etdi. Keramika yuqori qattiqlik, yuqori elastiklik moduli, yuqori aşınma qarshiligi, yuqori izolyatsiya, korroziyaga chidamlilik, past kengayish va boshqalar kabi afzalliklarga ega bo'lgani uchun, u kremniy abraziv mashinasi, epitaksial/oksidlanish/diffuziya issiqlik bilan ishlov berish uskunalari, litografiya mashinasi, cho'ktirish uskunalari, yarimo'tkazgichli o'ymakorlik uskunalari, ion implantatsiya mashinasi va boshqa uskunalarning qismlari sifatida ishlatilishi mumkin, shuning uchun aniq keramik qismlarni tadqiq qilish va ishlab chiqish va ishlab chiqarish yarimo'tkazgichlar sanoatining rivojlanishiga bevosita ta'sir qiladi. Uni tayyorlashning texnik talablari tobora ortib bormoqda.
Yuqori tozalikdagi alyuminiy oksidi, 99,7% -99,9% alyuminiy oksidi.
Yuqori mexanik mustahkamlik, yuqori aşınma qarshilik, yuqori elektr izolyatsiyasi, yuqori kimyoviy barqarorlik, yaxshi issiqlikka chidamlilik va korroziyaga chidamlilik. Hozirgi vaqtda keramik silliqlash disk silliqlash yarimo'tkazgichli kremniy plastinkasidan foydalanish eng ustun va zamonaviy silliqlash usuli hisoblanadi. Kesilgan kremniy plastinkasini silliqlash uchun ikki tomonlama silliqlash jarayoni qo'llaniladi va silliqlash plastinkasining sifati silliqlash jarayonini (disk materiali, silliqlash suyuqligi, silliqlash bosimi va silliqlash tezligi va boshqalar) yaxshilash orqali yaxshilanadi. Xususan, chandiqlar yoki ifloslanish natijasida plastinkaning asosiy yuzasida silliqlashning oldini olish uchun quyma temir plitalar o'rniga keramik plitalardan foydalanish metall ionlarining kiritilishini kamaytiradi, kremniyni keyingi qayta ishlashni kamaytiradi, keyingi jarayon (korroziya) vaqtini qisqartiradi, ishlab chiqarish samaradorligini oshiradi va kremniyni qayta ishlash yo'qotilishini kamaytiradi, kremniydan foydalanishni sezilarli darajada yaxshilaydi.
Yuqori alumina gofret abraziv plastinkayarimo'tkazgich, neft, kimyo, fotovoltaik, suyuq kristall va boshqa sohalarda, masalan, mexanik qismlar, elektron qismlar, mikroto'lqinli induksiya disklari, izolyatsiya materiallari va boshqa qismlar, yarimo'tkazgich qurilmalari, vakuum uskunalari, suyuq kristall ishlab chiqarish uskunalari va boshqa qismlarda qo'llaniladi. Katta o'lchamli va yuqori tozalikdagi alumina keramikasi sapfir sanoati va yarimo'tkazgich chiplari sanoatida muhim qo'llanilish qiymatiga ega. Bu sapfir va yarimo'tkazgichli kremniy plitalarini kimyoviy mexanik abrazivlash (CMP) uchun asosiy tayanch va sarflanadigan materialdir. Katta o'lchamli va yuqori tozalikdagi alumina keramikasi LCD uchun alumina substrat sifatida ham ishlatilishi mumkin.
Nashr vaqti: 2024-yil 27-iyun